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日立S-4800冷场发射扫描电子显微镜

日立S-4800冷场发射扫描电子显微镜
常规操作流程

 

一、开机

1. 检查真空、循环水状态。

2. 开启“Display”电源。

3. 根据提示输入用户名和密码(出厂设置为空),启动电镜程序。

二、样品放置、撤出、交换

1. 严格按照高度规定高样品台,制样,固定。

2. 按交换舱上“Air”键放气,蜂鸣器响后将样品台放入,旋转样品杆至“Lock”位,合上交换舱,按“Evac”键抽气,蜂鸣器响后按“Open”键打开样品舱门,推入样品台,旋转样品杆至“Unlock”位后抽出,按“Close”键。

三、观察与拍照

1. 根据样品特性与观察要求,在操作面板上选择合适的加速电压与束流,按“On”键加高压。

2. 用滚轮将样品台定位至观察点,拧Z轴旋钮(3轴马达台)或在操作界面中调整样品台高度(5轴马达台)。

3. 选择合适的放大倍数,点击“Align”键,调节旋钮盘,逐步调整电子束位置、物镜光阑对中、消像散基准。

4. “TV”“Fast”扫描模式下定位观察区域,在“Red”扫描模式下聚焦、消像散,在“Slow”“Cssc”扫描模式下拍照。

5. 选择合适的图像大小与拍摄方法,按“Capture”拍照。

6. 根据要求选择照片注释内容,保存照片。

四、关机

1. 将样品台高度调回80mm

2. “Home”键使样品台回到初始状态。

3. “Home”指示灯停止闪烁后,撤出样品台,合上样品舱。

4. 退出程序,关闭“Display”电源。

注意

1. 每天第一次加高压后,做一次Flashing

2. 冷场发射电镜一般不断电,如遇特殊情况需要大关机时,依次关闭主机正面的“Stage”电源、“Evac”电源,半小时后关闭离子泵开关和显示单元背面的三个空气开关,关闭循环水。开机时顺序相反。