仪器操作规范

SEM6360LV扫描电镜操作规程

作者:  来源:  发布日期:2016-09-12  浏览次数:

SEM6360LV扫描电镜操作规程

 

一、开机

打开冷却水箱的空开(最右侧黑色)及主机空开(左侧绿色)。

打开冷却水箱开关。

打开主机的稳压电源(应显示on,即推上去)。

main power中用钥匙拧到start,自己回到on即可。

打开计算机,打开JSM-6360LV软件(桌面上),等待wait→pre evac→evac→ready

打开HT(ready→on),即可观察,观察时按第三步进行聚焦、放大、缩小、照像、保存。

二、Exchange specimen换样品

关掉HT (on→ready)

点击sample→vent(灯闪烁到稳定即可。(vacuum system)

平稳拉开样品室,抽出样品台,松动周围螺丝,更换样品柱。

拧上螺丝,卡进样品台,小心推进关闭样品室。

Sample→Vac→ready。(也可直接按Vac system上的Vac即可)

点击HT(ready→on)

三、调节图像

HT(ready→on)

降低mag30X.

调节ABC→(AF)Focus

定位样品:旋R转轴,寻找样品(或者点击stage,用鼠标寻找所要观测之样品)。

调节Z轴,一般10-20mm之间(可依据WDstage上)。

注意:一般不要小于10mm

注意spotsize一般20-30左右较为合适。

选择合适的AccVolt,一般20-25较合适。

Signal选择SEI./BEIW,一般用SEI。(注意HV

Scan1调节ABC→手动Focus→stigmx. stigmx满意为止。

10.  Scan4扫描/Freeze,保存图像。

四、关机

关掉JEOL Scanning election microscope

Shut down 计算机。

Main power(on→off)

关掉稳压电源(off)。

20min后关掉水箱。

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