一、开机
打开冷却水箱的空开(最右侧黑色)及主机空开(左侧绿色)。
打开冷却水箱开关。
打开主机的稳压电源(应显示on,即推上去)。
在main power中用钥匙拧到start,自己回到on即可。
打开计算机,打开JSM-6360LV软件(桌面上),等待wait→pre evac→evac→ready。
打开HT(ready→on),即可观察,观察时按第三步进行聚焦、放大、缩小、照像、保存。
二、Exchange specimen换样品
关掉HT (on→ready)。
点击sample→vent(灯闪烁到稳定即可。(vacuum system中)
平稳拉开样品室,抽出样品台,松动周围螺丝,更换样品柱。
拧上螺丝,卡进样品台,小心推进关闭样品室。
Sample→Vac→ready。(也可直接按Vac system上的Vac即可)
点击HT(ready→on)。
三、调节图像
HT(ready→on) 。
降低mag到30X. 。
调节ABC→(AF)Focus。
定位样品:旋R转轴,寻找样品(或者点击stage,用鼠标寻找所要观测之样品)。
调节Z轴,一般10-20mm之间(可依据WD及stage上)。
△注意:一般不要小于10mm。
注意spotsize一般20-30左右较为合适。
选择合适的Acc、Volt,一般20-25较合适。
Signal选择SEI./BEIW,一般用SEI。(注意HV)
Scan1调节ABC→手动Focus→stigmx. stigmx满意为止。
10. Scan4扫描/Freeze,保存图像。
四、关机
关掉JEOL Scanning election microscope。
Shut down 计算机。
Main power(on→off)。
关掉稳压电源(off)。
20min后关掉水箱。