场发射扫描电子显微镜

一、仪器基本信息

仪器名称：场发射扫描电子显微镜

仪器编号：2011588602

生产厂家：日本日立公司

制造国家：日本

购置时间：2010.12.27

二、仪器主要功能

1.二次电子形貌（SEI）：对试样表面及断口进行形貌观察分析；

2.背反射成分像/形貌像（BEI）：对试样进行更深一层的形貌观察，并得到原子序数衬度；

3.元素的定性半定量分析（EDX）：结合X射线能谱仪对试样表面某区域或某点进行成分定性和半定量分析。

三、技术指标及配置

技术指标：二次电子像分辨率：1.0nm (15KV)，2.0nm (1KV)，1.4nm（1kv，减速功能）；放大倍数：x20～800,000; 加速电压：0.1KV～30KV；束流：1.0pA～2.0nA。

配置：X射线能谱仪，离子溅射仪

四、计费标准

校内：观察：150元/小时；制样：100元/样；喷金：100元/次；干燥：20元/样

校外：观察：300元/小时；制样：200元/样；喷金：100元/次；干燥：20元/样

五、预约方式

在学校大型仪器共享管理平台预约使用。

六、使用注意事项

观测样品可以为块状、片状、纤维状、粉末状等固体，但必须为干燥不含水及其他挥发性材料样品。无磁性、放射性和腐蚀性；应有一定的化学、物理稳定性，在真空中及电子束轰击下不会挥发或变形。在样品够观察拍照情况下，样品越小越薄越好，一般情况下，样品大小尽可能长×宽×高≤7×7×3mm。

七、课程资源

研究生课程：扫描电子显微镜（课程号：6323005）

线上培训课程：https://ctdvs472ng.feishu.cn/drive/folder/fldcnZXroQ1ct2bE3mhH8i82DLe